第263章 工艺最高达到了45nm(2 / 2)
        试验人员取出晶圆,进行显影、烘干、刻蚀。
        期间还需要用掉不少的超纯水,用这些水,把晶圆上的杂质给清洗干净。
        有些无聊的光刻流程,但又是真的非常的神奇。
        通过光刻,将图案刻在了晶圆上,几十纳米线宽,不通过显微镜,根本看不到。
        而后再通过操作,让铜等金属在刻蚀的区域外延生长,做成了纳米级的电路。
        小小的一个芯片中,密密麻麻的布着电路。
        三个小时后,试验的晶圆好了,在此前每个步骤都有人员测试参数,这会儿更是开始了详细测试和验证。
        “……工艺最高达到了45nm!”虽然是蒙着嘴,但连广浩看着这检测仪器上的参数,兴奋的跳了起来!
        这还是干式光刻呢,如果通过浸没式的光刻呢,是不是能够突破28nm了?
        甚至通过多次曝光,达到更高的工艺?!
        连广浩这一句话,让场上的人顿时欢呼了起来!
        “真的吗?我们居然成功了?!”
        “天啊,咱们搞出来了!”
        “江董牛逼!”
        ……
        江成摇头笑笑,这些小伙子,还是太年轻了,他刚也看了(顺带模拟了),发现只是很少部分栅极的最小线宽达到了45nm,而且极不均匀。
        这里头,既有光刻工艺还不纯熟,也有可能后续的一些工艺流程还有缺陷。
        不过,这会儿,大家都在兴奋之中,他们已经忙活了大半年了,有这么一个好消息刺激刺激他们也好。
        “这是一个巨大的进步,离我们的浸没式光刻机又近了一步。”江成开口道,“不过,大家也别放松了,咱们还有很多要改进的地方。”江成提醒道。
        不仅如此,浸没式光刻,也不是那么容易的。
        除了超纯水,还需要配套的工艺技术。
        这一块,需要起耳机电的工程师一起来协助。
        而他们,还需要过几天才能抽调人过来。
        另外,现在是研发试验阶段,超纯水这些,购买就可以了。但真正的生产线,需要大批量生产的,那需要的超纯水就多了,还得配上循环的超纯水制备、储存设备呢!
        这一块,技术在日国等国家手里。
        连广浩开心道,“明白,江董,在您带领下,我们相信,再有一两个月,咱们一定可以把浸没式光刻机搞出来!”
        “嗯,有信心就好。现在都快下班了,大伙把数据整理收集好,另外,保密要求,相关试验的情况、数据参数,不能外传。”江成最后提醒道。
        “知道的。”
        “明白!”
        听到下班的消息,大伙松了口气,一致的回了句,这才开始离去。
        江成再细细的看了下,随后出了无尘车间。
        换了衣服后,江成拿到了自己的手机。
        手机之上,有着于歆然的两个未接电话。
        “喂,歆然?”
        “江成,你忙好啦?”电话那头,于歆然的声音非常开心。
        “是,刚从实验室里出来呢。你呢,在忙啥?”
        “我呀,你先猜猜我在哪?”于歆然笑着道。
        江成愣了下,“你来魔都了?”
        “嗯嗯!”于歆然满怀欣喜地点点头应道,随后声音小了下来,“我想你了……”
        ……